1 简介

真空泵(beng)是一种旋转式变容真空泵(beng)须有前级(ji)泵(beng)配合方(fang)可使(shi)用在较(jiao)(jiao)宽(kuan)的(de)压力(li)范围内有较(jiao)(jiao)大的(de)抽(chou)速对被(bei)抽(chou)除气体中含有灰尘和水蒸汽不(bu)敏(min)感(gan)广泛(fan)用于冶金、化工(gong)、食品、电子镀(du)膜(mo)等行业。[1]

2 特点

(1)在较(jiao)宽的压力范围内有较(jiao)大的抽(chou)速；

(2)转(zhuan)(zhuan)子(zi)具有良好的几何对称性，故(gu)振动(dong)小，运转(zhuan)(zhuan)平稳(wen)。转(zhuan)(zhuan)子(zi)间(jian)及转(zhuan)(zhuan)子(zi)和壳体间(jian)均有间(jian)隙，不用润滑，摩擦损失小，可大(da)大(da)降(jiang)低(di)驱动(dong)功率，从而(er)可实现较高转(zhuan)(zhuan)速；

(3)泵腔内无需用油(you)密封(feng)和润滑，可减少油(you)蒸气(qi)对真(zhen)空系统的污染(ran)；

(4)泵(beng)腔(qiang)内无(wu)压缩，无(wu)排气(qi)阀。结构简单、紧(jin)凑，对被抽气(qi)体中的灰尘(chen)和水蒸汽(qi)不敏(min)感；

(5)压缩比较(jiao)低，对氢气抽气效果差(cha)；

(6)转(zhuan)子表面(mian)为形状较为复杂的曲线柱面(mian)，加工和检查比较困难。

3 结构

（1） 泵(beng)总体结构型式

真(zhen)空泵(beng)的(de)(de)泵(beng)体的(de)(de)布置结(jie)构(gou)决(jue)定了泵(beng)的(de)(de)总体结(jie)构(gou)。

立式结(jie)构的进、排(pai)气口(kou)水(shui)平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵(beng)的重心较高，在高速(su)运转时稳定性差，故这种型式多用(yong)于小泵(beng)。

卧式泵的(de)(de)进气(qi)口(kou)在(zai)上，排(pai)气(qi)口(kou)在(zai)下。有时(shi)为了(le)真空(kong)系统管道安装(zhuang)连接(jie)方(fang)便，可将排(pai)气(qi)口(kou)从水平方(fang)向(xiang)接(jie)出，即进、排(pai)气(qi)方(fang)向(xiang)是相互(hu)垂(chui)直的(de)(de)。此时(shi)，排(pai)气(qi)口(kou)可以从左或(huo)右(you)两个(ge)方(fang)向(xiang)开(kai)口(kou)，除接(jie)排(pai)气(qi)管道一端(duan)外，另(ling)一端(duan)堵死或(huo)接(jie)旁通阀。这(zhei)种泵结(jie)构重(zhong)心低，高速运转时(shi)稳定(ding)性(xing)好。一般大、中型泵多采用此种结(jie)构。

泵的两个(ge)转(zhuan)子轴与水(shui)平面(mian)垂(chui)直安装(zhuang)。这种(zhong)结(jie)构(gou)装(zhuang)配间隙容易(yi)控制，转(zhuan)子装(zhuang)配方便，泵占地面(mian)积(ji)小。但泵重心(xin)较高且(qie)齿轮拆(chai)装(zhuang)不(bu)便，润滑机构(gou)也相对(dui)复(fu)杂。

（2） 泵的(de)传(chuan)动方式

真空泵的(de)(de)(de)两(liang)(liang)个(ge)转(zhuan)子(zi)(zi)是(shi)通过(guo)一对(dui)高(gao)精度(du)齿轮(lun)来实现其相对(dui)同步(bu)运转(zhuan)的(de)(de)(de)。主(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)通过(guo)联轴(zhou)(zhou)器与电(dian)机(ji)联接。在传(chuan)动(dong)(dong)(dong)结构(gou)布(bu)置上主(zhu)要有以下两(liang)(liang)种：其一是(shi)电(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)与齿轮(lun)放在转(zhuan)子(zi)(zi)的(de)(de)(de)同一侧(ce)如图。从动(dong)(dong)(dong)转(zhuan)子(zi)(zi)由电(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)端(duan)齿轮(lun)直接传(chuan)过(guo)去带(dai)动(dong)(dong)(dong)，这样主(zhu)动(dong)(dong)(dong)转(zhuan)子(zi)(zi)轴(zhou)(zhou)的(de)(de)(de)扭转(zhuan)变形小，则(ze)两(liang)(liang)个(ge)转(zhuan)子(zi)(zi)之(zhi)间(jian)(jian)的(de)(de)(de)间(jian)(jian)隙不会因主(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)的(de)(de)(de)扭转(zhuan)变形大而改变，故使转(zhuan)子(zi)(zi)之(zhi)间(jian)(jian)的(de)(de)(de)间(jian)(jian)隙在运转(zhuan)过(guo)程中(zhong)均匀。这种传(chuan)动(dong)(dong)(dong)方式(shi)的(de)(de)(de)最(zui)大缺点是(shi)：a.主(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)上有三个(ge)轴(zhou)(zhou)承，增(zeng)加了泵的(de)(de)(de)加工和装配难度(du)，齿轮(lun)的(de)(de)(de)拆装及调整也不便(bian)；b.整体结构(gou)不匀称，泵的(de)(de)(de)重心偏向电(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)和齿轮(lun)箱一侧(ce)。

    极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”是真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)个(ge)(ge)重要参数，是反应泵(beng)抽气(qi)能(neng)力(li)的(de)(de)(de)特(te)性值(zhi)，是与(yu)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)(de)(de)一(yi)(yi)个(ge)(ge)数值(zhi)，不(bu)同的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)可以有(you)不(bu)同的(de)(de)(de)“极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”度(du)。而(er)“理论真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”是理论研究时(shi)(shi)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)个(ge)(ge)概(gai)念，是排(pai)除各种实际因素(su)的(de)(de)(de)影(ying)响而(er)提炼出的(de)(de)(de)一(yi)(yi)种最理想的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)容器(qi)经充分(fen)抽气(qi)后，稳定在(zai)某一(yi)(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)，此(ci)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)称为极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)容器(qi)须经12小时(shi)(shi)炼气(qi)，再经12小时(shi)(shi)抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)，最后一(yi)(yi)个(ge)(ge)小时(shi)(shi)每隔10分(fen)钟(zhong)测量(liang)一(yi)(yi)次(ci)，取其10次(ci)的(de)(de)(de)平均(jun)值(zhi)为极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)值(zhi)。